Honeywell傳感器AWM40000係列*

Honeywell霍尼韋爾放大氣體(ti) 質量流量傳(chuan) 感器AWM40000係列
補償(chang) 式或非補償(chang) 式。±25.0 SCCM、1.0 SLPM、6.0 SLPM。模擬輸出。

微橋氣體(ti) 質量流量傳(chuan) 感器的工作原理是熱傳(chuan) 遞。氣體(ti) 質量流量經引導流過傳(chuan) 感元件的表麵。輸出電壓與(yu) 流過封裝進出口的空氣或其他氣體(ti) 質量成正比。特殊設計的外殼精確地引導和控製氣流流過微結構傳(chuan) 感元件。封裝的機械設計能夠輕鬆將其安裝在印刷電路板上。

微橋氣體(ti) 質量流量傳(chuan) 感器內(nei) 含一塊*的基於(yu) *微結構技術的矽芯片。該芯片采用薄膜和絕熱橋結構，內(nei) 含加熱器和溫度傳(chuan) 感元件。橋結構能夠快速靈敏地響應流過芯片的空氣或其他氣體(ti) 氣流。中心加熱元件兩(liang) 側(ce) 的雙傳(chuan) 感元件還能指示氣流流過的方向和速率。激光修正的厚膜和薄膜電阻保證了從(cong) 每個(ge) 傳(chuan) 感器之間始終具有一致的可互換性。

微橋氣體(ti) 質量流量傳(chuan) 感器利用包裹在氮化矽薄膜中的熱電阻。這些電阻呈懸浮狀態，在矽片的刻蝕腔上方形成兩(liang) 座橋。芯片置於(yu) 精確規格的氣流通道，提供可重複的流量響應。通過在流量傳(chuan) 感橋下刻蝕空腔，發熱器和傳(chuan) 感電阻能實現高效的熱隔離。微橋式氣體(ti) 質量流量傳(chuan) 感器的小尺寸和熱隔離功能實現對氣流的極速響應及高靈敏度。

惠斯通雙橋控製氣流測量——一個(ge) 提供閉環發熱器控製，另一個(ge) 包含雙感應元件。加熱器電路通過提供與(yu) 質量流量成正比的輸出，地降低環境溫度變化導致的輸出變化。此電路可維持加熱器的溫度以高於(yu) 環境溫度 (160 °C) 恒定溫差，而環境溫度則由芯片上的熱電阻測量得知。傳(chuan) 感器的輸出與(yu) 電源電壓成比例，也與(yu) 惠斯通電橋電路的差分電壓相對應。

注意
地降低某些應用中可能產(chan) 生的灰塵汙染的影響。經過設計，氣流中可能存在的塵粒將平行於(yu) 芯片表麵流過芯片。另外，微結構芯片產(chan) 生的熱遷移效應能移走橋結構上的微米級塵粒。

可使用簡單的過濾網，防止粉塵附著在芯片邊緣和通道表麵。在大多數應用中，隻要在氣流裝置的上遊側(ce) 串聯一隻一次性的五微米過濾網，即可獲得充分的過濾效果。

注意：產(chan) 品損傷(shang)
AWM 係列微橋式氣體(ti) 質量流量傳(chuan) 感器不適用於(yu) 測量液體(ti) 流量，液體(ti) 流過傳(chuan) 感器時會(hui) 損壞傳(chuan) 感器。

Honeywell傳(chuan) 感器AWM40000係列*供應。

產(chan) 品參數：

電源電壓：最小 8.0 Vdc，典型值 10.0 Vdc，最大 15.0 Vdc
補償(chang) 溫度範圍：-25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F]

輸出溫漂：
±6% 讀數
±2.5% 讀數

信號調節：非放大式 (mV)。

調整點的輸出電壓：
1000 sccm (1 SLPM) 時為(wei) 54.7 mV dc ±3.7 mV dc
25 sccm 時為(wei) 8.5 mV dc ±1.5 mV dc

工作溫度：-40°C 至 125°C [-40°F 至 251°F]

衝(chong) 擊：100 g 峰值 (5 drops, 6 axes)

存儲(chu) 溫度：-40°C 至 125°C [-40°F 至 251°F]

流量/壓力範圍
±25 sccm
±1000 sccm (1 SLPM)

功耗:
最大 75 mW
最大值 60 mW

共模壓力
150 psi
25 psi

常規型號有：AWM43600V,AWM5104VN ，AWM42150VH,AWM5101VN，AWM3150V，AWM3200V，AWM3300V，，AWM3100V

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